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FLP-60W系列

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产品详情

 

低脉动气动风囊泵


● 低脉动
独特的系统驱动机制,确保气囊最佳运动效果,将脉动减到最低。


● 减低压缩空气消耗量
在不
影响性能下,减少高达30%的压缩空气消耗量。


● 高持续压力
最佳的气囊运动,有效提高压力的承受能力,以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力,尤其在单晶圆处理过程中。


● 无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器,节省设备空间及安装费用,例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。


 

 

 

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