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易威奇风囊泵低脉动气动风囊泵

来源:本站 时间:2020-11-19 10:03:11

易威奇风囊泵低脉动气动风囊泵
低脉动
独特的系统驱动机制,确保气囊运动效果,将脉动减到低。
减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下,减少高达30%的压缩空气消耗量。
高持续压力
的气囊运动,有效提高压力的承受能力,以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力,尤其在单晶圆处理过程中。
无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器,节省设备空间及安装费用,例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以小化。

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